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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
單靶等離子濺射儀（基礎(chǔ)型）采用二極濺射方式，廣泛用于場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡或透射電鏡樣品制備或高質(zhì)量鍍膜試驗(yàn)。該單靶等離子濺射儀（基礎(chǔ)型）是基于PLC的強(qiáng)大控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，可手動(dòng)、半自動(dòng)控制、全自動(dòng)控制。
詳情介紹：
○ 產(chǎn)品介紹：
TN-PSP180G-1TA 本型號(hào)小型等離子濺射儀，采用二級(jí)濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗(yàn)。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產(chǎn)生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，體積小巧造型美觀，是實(shí)驗(yàn)室鍍膜試驗(yàn)的*佳選擇。
○ 主要功能：
1、精細(xì)、超精細(xì)離子濺射導(dǎo)電膜制備；專業(yè)級(jí)金屬膜層試驗(yàn)。
2、樣品等離子刻蝕清洗
○ 主要參數(shù)：
| 樣品臺(tái) | 尺寸 | 100mm |
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到靶面距離 | 20-35mm 可調(diào) |
| 等離子濺射靶 | 數(shù)量 | 2英寸*1 |
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冷卻方式 | 自然冷卻 |
| 真空腔體 | 腔體尺寸 | φ180*210mm |
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觀察窗口 | 全向可視 |
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腔體材料 | 高純石英 |
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開啟方式 | 頂蓋拆卸式 |
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上下蓋材料 | 304不銹鋼 |
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抽氣接口 | KF16 |
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進(jìn)氣接口 | 1/4英寸卡套接頭 |
| 電源配置 | 數(shù)量 | 直流電源*1 |
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輸出功率 | *大150W |
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濺射電壓 | 1200V |
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*大濺射電流 | 50mA |
| 真空系統(tǒng) | 真空泵類型 | 雙極旋片真空泵 |
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抽氣接口 | KF16 |
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抽氣速率 | 1.1L/s(4m3/h) |
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極限真空度 | ≥0.1Pa |
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真空測(cè)量 | 電阻真空規(guī) |
| 其他 | 供電電源 | AC220V 50Hz |
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整機(jī)功率 | 1.5kW |
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整機(jī)尺寸 | 500mm*320*470mm |
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整機(jī)重量 | 30kg |
○ 免責(zé)聲明
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